查看内容

表面张力仪用于异丙醇溶液浓度的监测

  • 2019/5/15
  • 517 Views

  生产太阳能电池时,晶片要虚线蚀刻干净,或者清除掉一个特定的晶圆层。因此,润湿剂,多数用异丙醇(IPA),会被加到蚀刻剂溶液中以降低表面张力。工艺过程的问题是:蚀刻过程的对流会引起异丙醇的快速蒸发,蚀刻剂的表面张力增加,蚀刻工艺的质量降低。因此,为了将蚀刻剂中异丙醇的浓度控制在规定范围内,就必须监测动态表面张力以得知异丙醇的浓度。而静态表面张力的测量法例如拉环法和吊片法对于这种在生产过程中分析不适用。

  德国SITA公司的创新的气泡压力法表面张力仪由于可以精确、快速的测量动态表面张力,而帮助各领域的应用找到最佳的解决方案。在下图中您可以看到动态表面张力和异丙醇浓度的关系。SITA DynoTester+手持式表面张力仪在线表面张力系统SITA ST对监测蚀刻剂来说是最合适的检测设备。

  SITA Dyno Tester 是灵活、轻便的可以轻松快速的测量蚀刻剂溶液表面张力的设备,无需任何专业操作经验。所得的测量数据可以与所需的值对比,得出异丙醇浓度是否还在规定范围之内。如果超出范围,可以通过快速的额外增加剂量增加浓度解决问题。

动态表面张力与IPA浓度的关系

  动态表面张力与IPA浓度的关系

  设备的USB端口可以将数据传输到电脑上,电脑也可以作为一个外接电源。SITA 动态表面张力仪对清洗池槽液中表面活性剂浓度的进行测量的最佳仪器。

手持式表面张力仪

SITA DynoTester+手持式表面张力仪

  在一些领域的应用中,我们需要对槽液表面活性剂浓度进行连续在线监测,是影响蚀刻质量的重要因素。SITA公司提供在线表面张力检测系统SITA ST作为解决方案,它可以自动定时的测量清洗液的表面张力,自动将测得的表面张力数据与限定值作对比。因此我们可在异丙醇浓度超出限定值后,在短时间内采取相关处理措施。而且,可节省监测异丙醇浓度方面的人力资源。

  德国SITA公司的表面张力仪可以可靠地监测异丙醇浓度,达到高质量的蚀刻工艺和避免异丙醇过量。