查看内容

晶圆表面清洁度测试的标准和原理是什么?

  • 2023/3/9
  • 690 Views

晶圆表面清洁度测试通常采用粒子计数器进行测量。常见的标准是SEMI的标准,如SEMI F62、SEMI F65等。

SEMI F62标准规定了使用粒子计数器对晶圆表面进行清洁度测试的方法和要求,其中包括晶圆的清洁度等级、粒子计数器的校准、测试区域和测试参数等。

晶圆表面清洁度测试的原理是利用粒子计数器测量晶圆表面的粒子数量和大小,从而确定晶圆表面的清洁度等级。通常采用的粒子计数器包括激光粒子计数器和光学显微镜粒子计数器。在测试时,将晶圆放置在测试台上,启动粒子计数器进行测试。测试完成后,根据测试结果确定晶圆表面的清洁度等级,以便后续工艺操作的选择和控制。